Метод електронно-променевого випаровування – це різновид вакуумного випаровуваного покриття, яке використовує електронні промені для безпосереднього нагрівання матеріалу випаровування в умовах вакууму, випаровування матеріалу випаровування та транспортування його на підкладку, а також конденсації на підкладці з утворенням тонкої плівки.У пристрої електронно-променевого нагрівання нагріта речовина поміщається в охолоджуваний водою тигель, який може уникнути реакції між матеріалом випаровування та стінкою тигля та вплинути на якість плівки.Для досягнення одночасного або окремого випаровування та осадження різних речовин у пристрої можна розмістити кілька тиглів.За допомогою електронно-променевого випаровування можна випаровувати будь-який матеріал.
Електронно-променеве випаровування може випаровувати матеріали з високою температурою плавлення.Порівняно з випаровуванням із загальним резистивним нагріванням, він має вищу термічну ефективність, вищу щільність струму пучка та вищу швидкість випаровування.Плівка та плівка з різних оптичних матеріалів, таких як електропровідне скло.
Характеристика електронно-променевого випаровування полягає в тому, що воно не охоплює або рідко охоплює дві сторони цільової тривимірної структури, а зазвичай лише відкладається на поверхні мішені.Це різниця між випаровуванням електронним променем і розпиленням.
Електронно-променеве випаровування широко використовується в галузі досліджень і промисловості напівпровідників.Енергія прискорених електронів використовується для удару по матеріальній мішені, змушуючи матеріальну мішень випаровуватися та підніматися.Зрештою нанесено на мішень.
Час публікації: 02 грудня 2022 р