Як працює магнетронне розпилення?
Магнетронне розпилення — це метод фізичного осадження з парової фази (PVD), клас процесів вакуумного осадження для отримання тонких плівок і покриттів.
Назва «магнетронне розпилення» походить від використання магнітних полів для керування поведінкою заряджених іонних частинок у процесі магнетронного напилення.Процес вимагає камери високого вакууму для створення середовища низького тиску для розпилення.Газ, що містить плазму, як правило, аргон, надходить у камеру першим.
Між катодом і анодом прикладається висока негативна напруга, щоб ініціювати іонізацію інертного газу.Позитивні іони аргону з плазми стикаються з негативно зарядженим матеріалом мішені.Кожне зіткнення частинок високої енергії може призвести до того, що атоми з поверхні мішені викидаються у вакуумне середовище та просуваються на поверхню підкладки.
Сильне магнітне поле створює високу щільність плазми, утримуючи електрони біля поверхні мішені, збільшуючи швидкість осадження та запобігаючи пошкодженню підкладки від іонного бомбардування.Більшість матеріалів можуть виступати в якості мішені для процесу розпилення, оскільки система магнетронного розпилення не вимагає плавлення або випаровування вихідного матеріалу.
Параметри продукту
Назва продукції | Мішень із чистого титану |
Оцінка | Gr1 |
Чистота | Більше 99,7% |
Щільність | 4,5 г/см3 |
MOQ | 5 шт |
Гарячий розпродаж розміру | Φ95*40 мм Φ98*45 мм Φ100*40 мм Φ128*45 мм |
застосування | Покриття для PVD машини |
Розмір запасу | Φ98*45 мм Φ100*40 мм |
Інші доступні цілі | Молібден (Mo) Хром (Cr) TiAl Мідь (Cu) Цирконій (Zr) |
застосування
■Покриття інтегральних схем.
■Дисплеї поверхневих панелей плоских панелей та інших компонентів.
■Оздоблення та покриття скла та ін.
Яку продукцію ми можемо виробляти
■Пласка мішень з титану високої чистоти (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Стандартне різьбове з'єднання для легкої установки (M90, M80)
■Самостійне виробництво, доступна ціна (якість контролюється)
Інформація про замовлення
Запити та замовлення повинні містити таку інформацію:
■ Діаметр, висота (наприклад, Φ100 * 40 мм).
■ Розмір різьби (наприклад, M90*2 мм).
■ Кількість.
■ Вимога чистоти.