Універсальні футеровки тиглів для систем електронно-променевого випаровування

Гільзи електронно-променевого тигля

Джерела електронно-променевого осадження оснащені ниткою термічного елемента для емісії електронів, електромагнітами для формування та позиціонування потоку електронів і відповідно сконструйованою мідною піччю з водяним охолодженням для розміщення вихідного матеріалу, який буде осаджено. Багато матеріалів вступають у руйнівну реакцію з цими мідними печами при температурах, які зазвичай зустрічаються під час вакуумного осадження. Щоб запобігти термічній взаємодії з мідним подом і забезпечити рівномірний розподіл тепла всередині вихідного матеріалу, часто корисно використовувати футеровку поду під час осадження електронним променем.

Ці прокладки можуть бути виготовлені в різноманітних формах і розмірах для розміщення всіх комерційно доступних джерел електронного променя. Склад вкладиша ретельно підбирається відповідно до матеріалу, що наноситься, щоб мінімізувати хімічні взаємодії, що виділяють тепло, і максимально підвищити термічну стабільність процесу випаровування.

Ми можемо поставити вкладиші для тиглів для електронно-променевого випаровування. Доступні з різних матеріалів і розмірів для електронних гармат різних виробників. Будь ласка, зв'яжіться з нами для отримання деталей і пропозиції.
Ми також виробляємо термічні тиглі та тиглі HTE/LTE з різноманітних матеріалів.


Час публікації: 2 серпня 2023 р